Las microondas que son la radiación electromágnetica de alta frecuencia en la gama del gigahertz, son capaces de excitar descargas de gas electrodeless.

las plasmas Microonda-emocionadas tienen dos características atractivas:

si estuvo aplicado en Superficie-agitar-sostuvo el modo, ellas está especialmente bien adaptado generar plasmas del large-area= de la alta densidad del plasma.

en el el modo surface-wave del resonador de y, pueden exhibir un alto nivel de localización espacial. Esto permite espacial separar la localización de la generación del plasma de la localización del proceso superficial, ve el plasma de la posluminiscencia. Tal separación, junto con un esquema apropiado del caudal de gas, puede ayudar a reducir el efecto negativo que las partículas lanzaron de un substrato procesado pueden tener en la química del plasma de la fase de gas .

Ver también

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