Las plasmas que son excitadas por la propagación de ondas superficiales electromágneticas se llaman superficie-agitar-continuo . Las fuentes del plasma de la onda superficial se pueden dividir en dos grupos dependiendo de si el plasma genera la pieza de su propia guía de onda por la ionización o no. El anterior se llama un plasma Self-guided . El modo de onda superficial permite generar plasmas alto-frecuencia-emocionadas uniformes en los volúmenes cuyas dimensiones laterales extienden sobre varias longitudes de onda de la onda electromagnética, e. para las microondas de 2.45 gigahertz en el vacío las cantidades de la longitud de onda a 12.
Durante mucho tiempo, las fuentes del plasma de la microonda sin campo magnético no se han considerado convenientes para la generación de plasmas de alta densidad. Las ondas electromagnéticas no pueden propagar en las plasmas Sobre-densas que la onda se refleja en la superficie del plasma debido al efecto de piel y que se convierte en una onda evanescente . Su profundidad de penetración corresponde a de la profundidad de piel, cuál se puede aproximar por el
La profundidad de penetración no-vanishing de una onda evanescente abre una manera alternativa de calentar un plasma: En vez de atravesando el plasma, la conductividad del plasma permite a la onda propagar el a lo largo de la superficie del plasma. La energía de onda entonces es transferida al plasma por una onda evanescente que incorpore el perpendicular del plasma a su superficie y el decae exponencial con la profundidad de piel . El 'mecanismo de la transferencia permite generar las plasmas Sobre-densas con densidades de electrón más allá de la densidad crítica.
las plasmas Superficie-agitar-continuas (SWP) se pueden funcionar en una variedad grande de geometrías receptoras. La gama de presión accesible para las plasmas superficie-agitar-emocionadas depende del gas de proceso y del diámetro del recipiente. Cuanto más grande es el diámetro del compartimiento, más baja es la presión mínima necesaria para el modo de SWP. Análogo, la presión máxima donde un SWP estable puede ser disminuciones funcionadas con el aumento de diámetro. El de modelado numérico de SWPs está absolutamente implicado. El plasma es creada por la onda electromagnética, pero también refleja y dirige esta misma onda. Por lo tanto, una descripción homogénea es verdad necesaria.
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